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FT:華為が国産光刻機の統括を開始、宇量昇DUVは年末までに12台を目標

動察 Beating AI 速報、華為は国産フォトリソグラフィー装置サプライチェーンへの関与をさらに深めている。英フィナンシャル・タイムズによると、華為は関連設備・部品企業への投資だけでなく、サプライヤー、ウェハーファウンドリ、完成機メーカーを調整し、国産DUV(深紫外線露光装置)の実生産ラインへの導入を推進している。バーンスタインのアナリストは華為を中国DUVプロジェクトの「プロジェクトマネージャー」と直接表現している。


最も進展が速いのは上海宇量昇である。同社は国産先端DUVの開発に参加しており、現在設備は中芯国際などのウェハーファウンドリや華為自身の生産ラインでテストされており、今年末までに12台の生産を計画している。現段階では主に比較的単純なチップを製造し、最終目標は先端AIチップ製造に使用することである。


国産DUVは現在、海外サプライチェーンから完全に脱却しているわけではない。宇量昇が使用する投影レンズは依然としてドイツのツァイス社製であり、高出力光源も主要なボトルネックとなっている。華為はすでに至期光子、科益虹源などの企業に投資し、それぞれ国産レンズと光源の補完を進めている。

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